由高熔點(diǎn)金屬制成的真空熱處理爐加熱元件會(huì)跟著真空度和溫度的升高而蒸騰加重，如鉬在1800℃、鉭在2200℃、鎢在2400℃以上運(yùn)用時(shí)，蒸騰更為劇烈。石墨的熔點(diǎn)很高為3700℃，但其在真空中運(yùn)用溫度超過(guò)2400℃時(shí)也會(huì)敏捷蒸騰，為了按捺真空熱處理爐加熱元件在真空中的蒸騰，可在爐內(nèi)通入一定壓力的惰性氣體或高純氮?dú)狻Ｓ酶呷埸c(diǎn)金屬鉬、鎢、鉭制成的真空熱處理爐加熱元件，在氧化和滲碳?xì)夥罩卸紩?huì)發(fā)生反應(yīng)，因而不能在上述氣氛中運(yùn)用。鉬在氧化性氣氛中會(huì)生成極易升華的氧化鉬，在滲碳性氣氛中會(huì)生成高電阻率的碳化物，甚至形成電熱元件開(kāi)裂。
石墨資料作為真空熱處理爐加熱元件在較低溫度運(yùn)用時(shí)，其蒸騰丟失很小，損壞多因?yàn)橘Y料功能、應(yīng)力損壞、氧化速度、機(jī)械電氣毛病引起的損壞。石墨資料的材質(zhì)對(duì)加熱元件有較大影響，假如挑選顆粒過(guò)粗，材質(zhì)不均勻的石墨資料做加熱元件，部分缺陷會(huì)導(dǎo)致部分電阻過(guò)大，發(fā)生部分過(guò)熱，導(dǎo)致運(yùn)用壽命下降，甚至?xí)龜嗉訜崞?；石墨加熱器工作時(shí)發(fā)生的熱應(yīng)力會(huì)對(duì)其發(fā)生損壞。石墨在低溫時(shí)導(dǎo)熱功能良好，在高溫時(shí)就下降為低溫時(shí)的幾分之一，形成真空熱處理爐加熱元件外表和心部的溫度差，使斷面伸長(zhǎng)不一，發(fā)生熱應(yīng)力，損壞加熱元件；石墨加熱器的氧化生成物容易散逸，不會(huì)形成細(xì)密氧化膜保護(hù)層，從而使氧化連續(xù)進(jìn)行，假如爐內(nèi)密封不好或惰性氣體純度不行會(huì)加重真空熱處理爐加熱元件的氧化；爐內(nèi)工件資料蒸發(fā)凝聚使石墨加熱元件與絕緣件連電短路也會(huì)損壞真空熱處理爐加熱元件；當(dāng)石墨加熱元件與其它金屬零件相互連接時(shí)，因?yàn)榫€膨脹系數(shù)差別大形成應(yīng)力，使石墨件受擠壓或拉伸，加快石墨加熱元件開(kāi)裂；此外石墨件加工、安裝質(zhì)量對(duì)真空熱處理爐加熱元件的運(yùn)用壽命也有十分明顯的影響，石墨件觸摸面潤(rùn)滑程度不行會(huì)使觸摸電阻過(guò)大，燒壞真空熱處理爐加熱元件，安裝時(shí)過(guò)松會(huì)呈現(xiàn)因?yàn)橛|摸不良而發(fā)生的拉弧，從而燒壞加熱器和接頭，過(guò)緊則會(huì)因?yàn)槭Y料的塑性差而使其受力損壞。
