按照發(fā)熱體在真空容器的內(nèi)部和外部，真空熱處理爐可分為內(nèi)熱爐和外熱爐。
1、外熱式真空熱處理爐在這種真空爐的爐罐外面有普通的空氣爐，通過(guò)對(duì)真空容器加熱，對(duì)工件進(jìn)行旁熱式加熱。這種熱處理爐的熱效率差，冷卻時(shí)間也長(zhǎng)。此外，因工件和爐罐之間有溫差、真空外壓還將導(dǎo)致?tīng)t罐的變形和破損。這種熱處理爐盡管廉價(jià)，但不合適實(shí)踐工業(yè)生產(chǎn)。
2、內(nèi)熱式真空熱處理爐內(nèi)熱式是在真空容器內(nèi)有電熱體和絕緣物，容器自身為水冷。處理溫度低時(shí)，僅對(duì)真空密封部份水冷或不水冷。與外熱式相比，內(nèi)熱式真空爐因工件面對(duì)發(fā)熱體，所以熱效率高。發(fā)熱體材料有電熱合金（如Fe-Cr、Ni-Cr、Fe-Cr-Al）、半金屬（SiC、MoSi2）、以及鋯發(fā)熱體（ZrO2）等。
3、模具真空熱處理開(kāi)展趨勢(shì)及關(guān)鍵技術(shù)根據(jù)美國(guó)金屬學(xué)會(huì)熱處理學(xué)會(huì)、美國(guó)金屬處理研究院、美國(guó)能源部工業(yè)技術(shù)廳對(duì)美國(guó)熱處理工業(yè)2020年開(kāi)展前景的猜測(cè)，未來(lái)的熱處理工業(yè)要有一流的質(zhì)量，生產(chǎn)具有零改變率的產(chǎn)品零件，在整個(gè)工藝中，零分散度是典型的，能量利用率提高到80，工作環(huán)境良好，清潔無(wú)污染，生產(chǎn)中選用規(guī)范的閉環(huán)控制系統(tǒng)，智能系統(tǒng)控制決議產(chǎn)品的功能，綜合技術(shù)的成果使工藝時(shí)間減少50，本錢下降75。所有這些想象，為真空熱處理技術(shù)的開(kāi)展提供了寬廣的舞臺(tái)和機(jī)遇。美國(guó)當(dāng)前產(chǎn)品熱處理生產(chǎn)中，真空熱處理占15，這一開(kāi)展趨勢(shì)今后將進(jìn)一步增加。
