真空爐熱處理工藝的操作流程：
1、工件在真空狀態(tài)下淬火，應運用真空淬火油，此油具有較低的飽滿蒸氣壓；
2、真空爐的保養(yǎng)應在真空或充純氮狀態(tài)下，避免平常不用時吸氣，吸潮；
3、國內(nèi)真空爐的壓升率應不大于1.33Pa/h，國外某些企業(yè)的規(guī)范為0.67Pa/h；
4、真空回火爐應該具有快冷設備。冷卻水的壓力應該大于0.2Mpa，流量應可調(diào)；
5、處理鈦合金時，不宜用氮氣作為冷卻氣體，由于鈦和氮在高溫下反應，形成金黃色的氮化鈦；
6、冷卻氣體：鋼一般選用百分之99.995純度的氮氣，高溫合金選用百分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金選用百分之99.995的氬氣；
7、真空加熱以輻射為主，工件在爐內(nèi)應該保持間距；
8、升溫過程中，工件及爐內(nèi)材料會放氣，使真空度下降；
9、升溫：放入工件后，一般先預抽至6.67Pa時方可升溫加熱；
10、真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時效的加熱溫度一般與常規(guī)處理時加熱溫度相同。
