真空燒結(jié)爐是指在真空環(huán)境中對被加熱物品進(jìn)行保護(hù)性燒結(jié)的爐子，其加熱方法比較多，如電阻加熱、感應(yīng)加熱、微波加熱等。真空燒結(jié)爐的子類真空燒結(jié)爐有碳化硅高溫真空燒結(jié)爐、真空等靜壓燒結(jié)爐、真空加壓快冷燒結(jié)爐、單室臥式熱壓燒結(jié)真空爐等。
那么真空燒結(jié)爐在運(yùn)用的時分要注意哪些方面？
第一、真空燒結(jié)爐的操控柜安裝在相應(yīng)的地基上，并固定。
第二、查看真空燒結(jié)爐的操控柜中所有部件及配件是否完備、無缺。
第三、安照接線圖，并參閱電氣原理圖，接通外接主回路及操控回路，并可靠接地，確保接線無誤。
第四、手動調(diào)壓旋鈕逆時針旋動頭。 真空燒結(jié)爐的報警鈕放在開位。
第五、查看電器可動部分應(yīng)活動自若，無卡死現(xiàn)象。，絕緣電阻應(yīng)不低于2兆歐姆。
第六、真空燒結(jié)爐各閥門必須在封閉方位。 真空燒結(jié)爐的操控電源開關(guān)放在關(guān)位。
第七、按平面圖完結(jié)設(shè)備的循環(huán)冷卻水聯(lián)接，建議用戶在設(shè)備總進(jìn)出水管處再接入一備用水（可用自來水），防止循環(huán)水有故障或斷電導(dǎo)致密封圈燒壞。
真空燒結(jié)爐首要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝配備，它規(guī)劃構(gòu)思新穎，操作便利，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設(shè)備上可完結(jié)多個工藝流程。