一、緊縮式真空計
1、緊縮式真空計優(yōu)缺陷
緊縮真空計優(yōu)點在于丈量真空燒結(jié)爐真空度的準確性高,可作為真空計量的規(guī)范器。它的缺陷是運用不行方便,反響緩慢,不能接連丈量。因為緊縮式真空計是依據(jù)氣體規(guī)律制作的,只能丈量性氣體分壓強,而不能丈量蒸氣壓。在蒸汽分壓較大的真空體系中,緊縮式真空計的讀數(shù)不能標志其真空度。
2、測真空度的辦法
緊縮式真空計上接一根頂端關(guān)閉的毛細管,下端與“Y”形管的一端口相接,“Y”形管下方接汞儲存器,運用時,將真空燒結(jié)爐的真空體系與“Y”形管口相接,轉(zhuǎn)動真空計,使汞緊縮成氣體,再轉(zhuǎn)至筆直方位讀取“丈量毛細管”與“比毛細管”的液面差,即為所測真空燒結(jié)爐的真空度。
二、熱導(dǎo)式真空計
1、熱導(dǎo)式真空計優(yōu)缺陷
熱導(dǎo)式真空計的優(yōu)點是可丈量總壓強、能接連丈量、運用方便、可用導(dǎo)線進行遠距離丈量、結(jié)構(gòu)簡略、易于制造。其缺陷是有熱慣性,當壓強改變很快時反響滯后;外界溫度對丈量成果有必定的影響;電阻絲外表情況改變,可形成零點漂移,影響準確讀數(shù)。
2、測真空度的原理與辦法
熱導(dǎo)式真空計是利用真空體系中分子數(shù)與傳導(dǎo)熱量有關(guān)的原理制成的真空燒結(jié)爐真空度丈量計,分為電阻真空計和熱偶真空計兩種。經(jīng)過電流時溫度升高,周期氣體被加熱,規(guī)管管壁溫度低,依托周圍存在的氣體分子傳導(dǎo)熱量,電阻絲溫度改變,即反響了存在氣體分子多少。直接丈量電阻絲的溫度很不方便,因為電阻絲的電阻值與溫度有關(guān),故可用電橋測出其電阻數(shù)值。
三、電離真空計
電離真空計是以氣體的電離現(xiàn)象為基礎(chǔ)來丈量真空燒結(jié)爐真空度大小的,可分為熱陰極電離真空計和磁控放電真空計兩類。
1、熱陰極電離真空計
?。?)熱陰極電離真空計優(yōu)缺陷
熱陰極電離真空計的優(yōu)點是可測總壓強、可接連丈量、丈量范圍廣靈敏度高、電離計規(guī)管體積小可直接連通要測方位、對機械振動不靈敏慣性小、校準曲線是直線性。其缺陷是讀數(shù)與氣體種類有關(guān),不同氣體要做不同曲線;燈絲是白熾狀況,真空體系忽然漏氣或壓強忽然升高,會使燈絲損壞;氣體被吸附在陰極和搜集外表,易產(chǎn)生丈量誤差;在低壓強時,規(guī)管外殼與電極放電現(xiàn)象影響讀數(shù)。
?。?)原理與真空度丈量辦法
當在熱陰極電離真空計各極加上必定電源時,燈絲處于白熾狀況,發(fā)出熱電子。這些電子與管內(nèi)氣體分子碰撞,使氣體電離,產(chǎn)生整離子。正離子為離子搜集,形成電流,隨著壓強的改變,電流也有改變。丈量電流的大小,即可測出真空燒結(jié)爐的真空度。
2、磁控放電真空計
?。?)磁控放電真空計優(yōu)缺陷
磁控放電真空計的優(yōu)點是沒有熱陰極存在,不會因漏氣而損害燈絲;丈量總壓強,可接連丈量;放電電流大,電路運用外表簡略;結(jié)構(gòu)結(jié)實,對外界不靈敏;增加電離的效果,真空計的靈敏度則隨之提高。其缺陷是在壓強條件下,它的靈敏度不及熱陰極電離真空計高,對不同氣體也需求不同校準曲線。
?。?)真空度丈量原理
磁控放電真空計也是利用氣體放電原理,但在規(guī)管中沒有熱陰極。規(guī)管中有兩個平行陰極,兩個平行板中心有個框型電極。整個規(guī)管的電極部分都在磁場之中。因為外加磁場的作用和陽極的框型,簡單使電子穿越,形成電子在空間做來回多次的螺旋運動。